1. Eliminación de partículas de po na sala limpa sen po
A función principal da sala limpa é controlar a limpeza, temperatura e humidade da atmosfera á que os produtos (como chips de silicio, etc.) están expostos, de xeito que os produtos poidan ser producidos e fabricados nun bo espazo de ambiente. Chamamos a este espazo como cuarto limpo. Segundo a práctica internacional, o nivel de limpeza está determinado principalmente polo número de partículas por metro cúbico de aire cun diámetro superior ao estándar de clasificación. Noutras palabras, o chamado libre de po non está 100% sen po, senón que se controla nunha unidade moi pequena. Por suposto, as partículas que cumpren o estándar de po nesta norma son xa moi pequenas en comparación co po común que vemos, pero para as estruturas ópticas, incluso un pouco de po terá un impacto negativo moi grande, polo que sen po é un requisito inevitable Na produción de produtos de estrutura óptica.
O control do número de partículas de po cun tamaño de partícula superior ou igual a 0,5 micras por metro cúbico a menos de 3520/metro cúbico alcanzará a clase A do estándar internacional sen po. O estándar sen po usado na produción e procesamento a nivel de chip ten máis requisitos para o po que a clase A, e un nivel tan elevado úsase principalmente na produción dalgúns chips de nivel superior. O número de partículas de po está estrictamente controlado en 35.200 por metro cúbico, que se coñece normalmente como clase B na industria de habitacións limpas.
2. Tres tipos de estados de habitación limpos
Habitación limpa baleira: unha instalación de habitación limpa que foi construída e pódese empregar. Ten todos os servizos e funcións relevantes. Non obstante, non hai equipos operados por operadores da instalación.
Habitación limpa estática: unha instalación limpa con funcións completas, configuracións e instalación adecuadas, que se poden usar segundo a configuración ou está en uso, pero non hai operadores na instalación.
Sala limpa dinámica: unha sala limpa en uso normal, con funcións de servizo completas, equipos e persoal; Se é necesario, pódese realizar un traballo normal.
3. Elementos de control
(1). Pode eliminar as partículas de po flotando no aire.
(2). Pode evitar a xeración de partículas de po.
(3). Control da temperatura e da humidade.
(4). Regulación da presión.
(5). Eliminación de gases nocivos.
(6). Aperte de aire de estruturas e compartimentos.
(7). Prevención da electricidade estática.
(8). Prevención de interferencias electromagnéticas.
(9). Consideración de factores de seguridade.
(10). Consideración do aforro de enerxía.
4. Clasificación
Tipo de fluxo turbulento
O aire entra na sala limpa da caixa de aire acondicionado a través do conduto de aire e do filtro de aire (HEPA) na sala limpa, e é devolto dos paneis de parede de partición ou pisos elevados a ambos os dous lados da sala limpa. O fluxo de aire non se move de xeito lineal, pero presenta un estado turbulento irregular ou de eddy. Este tipo é adecuado para a clase de 1.000-100.000 habitacións limpas.
Definición: unha sala limpa onde o fluxo de aire flúe a unha velocidade desigual e non é paralelo, acompañado de fluxo de retroceso ou corrente de eddy.
Principio: as salas limpas turbulentas dependen do fluxo de aire do subministro de aire para diluír continuamente o aire interior e diluír gradualmente o aire contaminado para lograr a limpeza (as habitacións limpas turbulentas están deseñadas xeralmente a niveis de limpeza por encima dos 1.000 a 300.000).
Características: as habitacións limpas turbulentas dependen da ventilación múltiple para lograr a limpeza e os niveis de limpeza. O número de cambios de ventilación determina o nivel de purificación na definición (canto máis cambios de ventilación, maior sexa o nivel de limpeza)
(1) Tempo de auto-purificación: refírese ao momento en que a sala limpa comeza a subministrar aire á sala limpa segundo o número de ventilación deseñado e a concentración de po na sala chega ao nivel de limpeza deseñado. Espérase que a clase 10.000 non sexa superior a 30 minutos (pódense usar máis de 30 minutos para o cálculo). cálculo)
(2) Frecuencia de ventilación (deseñada segundo os requisitos de tempo de auto-limpeza anterior) clase 1.000: 43,5-55,3 veces/hora (estándar: 50 veces/hora) Clase 10.000: 23,8-28,6 veces/hora (estándar: 25 veces por hora ) Clase 100.000: 14,4-19,2 veces por hora (estándar: 15 veces por hora)
Vantaxes: estrutura sinxela, baixo custo de construción do sistema, fácil de ampliar a sala limpa, nalgúns lugares de propósito especial, pódese usar un banco limpo sen po para mellorar a nota de habitación limpa.
Desvantaxes: as partículas de po causadas pola turbulencia flotan no espazo interior e son difíciles de descargar, o que pode contaminar facilmente os produtos do proceso. Ademais, se o sistema está detido e logo activado, a miúdo leva moito tempo para conseguir a limpeza requirida.
Fluxo laminar
O aire de fluxo laminar móvese nunha liña recta uniforme. O aire entra na habitación a través dun filtro cunha taxa de cobertura do 100% e é devolto a través do chan elevado ou das táboas de partición por ambos os dous lados. Este tipo é adecuado para o seu uso en contornas de habitación limpa con cualificacións de cuarto limpo máis altas, xeralmente clase 1 ~ 100. Hai dous tipos:
(1) Fluxo laminar horizontal: o aire horizontal é expulsado do filtro nunha única dirección e devolto polo sistema de retorno na parede oposta. O po é descargado ao aire libre con dirección do aire. Xeralmente, a contaminación é máis grave no lado descendente.
Vantaxes: a estrutura sinxela pode quedar estable en pouco tempo despois da operación.
Desvantaxes: o custo da construción é superior ao fluxo turbulento e o espazo interior non é fácil de expandir.
(2) Fluxo laminar vertical: o teito da habitación está completamente cuberto con filtros ULPA, e o aire está soprado de arriba abaixo, o que pode conseguir unha maior limpeza. O po xerado durante o proceso ou polo persoal pódese descargar rapidamente ao aire libre sen afectar a outras áreas de traballo.
Vantaxes: Pódese conseguir un estado estable fácil de xestionar, pouco tempo despois de que a operación comece e non sexa facilmente afectada polo estado ou operadores operativos.
Desvantaxes: alto custo de construción, difícil usar o espazo de forma flexible, os colgadores de teito ocupan moito espazo e problemáticos para reparar e substituír os filtros.
Tipo composto
O tipo composto é combinar ou usar o tipo de fluxo turbulento e o tipo de fluxo laminar, que poden proporcionar aire ultra-limpo local.
(1) Túnel limpo: use filtros HEPA ou ULPA para cubrir o 100% da área de proceso ou área de traballo para aumentar o nivel de limpeza ata a clase 10 por encima da clase 10, que pode aforrar custos de instalación e operación.
Este tipo require que a área de traballo do operador estea illada do mantemento do produto e da máquina para evitar afectar o traballo e a calidade durante o mantemento da máquina.
Os túneles limpos teñen outras dúas vantaxes: A. fácil de expandir de forma flexible; B. O mantemento do equipo pódese realizar facilmente na área de mantemento.
(2) Tubo limpo: rodea e purifique a liña de produción automática pola que pasa o fluxo do produto e aumenta o nivel de limpeza ata a clase 100. Debido a que o produto, o operador e o ambiente xerador de po están illados uns dos outros, unha pequena cantidade de O subministro de aire pode conseguir unha boa limpeza, que pode aforrar enerxía e é máis adecuado para liñas de produción automatizadas que non precisan man de obra manual. É aplicable ás industrias farmacéuticas, alimentarias e semicondutores.
(3) punto limpo: o nivel de limpeza da área de proceso do produto na sala limpa turbulenta cun nivel de habitación limpa de 10.000 ~ 100.000 aumenta a 10 ~ 1000 ou superior con fins de produción; Bancos de traballo limpos, cobertizos limpos, cuartos limpos prefabricados e armarios limpos pertencen a esta categoría.
Banco limpo: clase 1 ~ 100.
Clean Booth: un pequeno espazo rodeado de pano de plástico transparente antiestático nun espazo de habitación limpo turbulento, empregando HEPA independente ou ULPA e unidades de aire acondicionado para converterse nun espazo limpo de nivel superior, cun nivel de 10 ~ 1000, unha altura de aproximadamente 2,5 metros e unha área de cobertura duns 10m2 ou menos. Ten catro piares e está equipado con rodas móbiles para uso flexible.
5. Fluxo de fluxo de aire
Importancia do fluxo de aire
A limpeza dunha habitación limpa adoita verse afectada polo fluxo de aire. Noutras palabras, o movemento e a difusión do po xerados por persoas, compartimentos da máquina, estruturas de construción, etc. están controlados por fluxo de aire.
A sala limpa usa HEPA e ULPA para filtrar o aire, e a súa taxa de recollida de po é de 99,97 ~ 99,9995%, polo que se pode dicir que o aire filtrado por este filtro é moi limpo. Non obstante, ademais das persoas, tamén hai fontes de po como as máquinas na sala limpa. Unha vez que estes po xerados se estenden, é imposible manter un espazo limpo, polo que o fluxo de aire debe usarse para descargar rapidamente o po xerado ao aire libre.
Factores influíndo
Hai moitos factores que afectan o fluxo de aire dunha sala limpa, como equipos de proceso, persoal, materiais de montaxe de habitación limpos, luminarias, etc. Ao mesmo tempo, tamén se debe levar o punto de desvío do fluxo de aire por encima do equipo de produción consideración.
O punto de desvío do fluxo de aire na superficie dunha táboa de operacións xeral ou equipos de produción debería establecerse a 2/3 da distancia entre o espazo da habitación limpa e o taboleiro de partición. Deste xeito, cando o operador traballa, o fluxo de aire pode fluír desde o interior da área de proceso ata a zona de operacións e quitar o po; Se o punto de desvío está configurado diante da área de proceso, converterase nun desvío inadecuado do fluxo de aire. Neste momento, a maior parte do fluxo de aire fluirá á parte traseira da área de proceso e o po causado pola operación do operador levarase á parte traseira do equipo e o banco de traballo estará contaminado e o rendemento diminuirá inevitablemente.
Os obstáculos como as táboas de traballo nas habitacións limpas terán correntes de edición no cruce, e a limpeza preto deles será relativamente pobre. A perforación dun burato de aire na mesa de traballo minimizará o fenómeno de corrente de eddy; Se a selección de materiais de montaxe é apropiada e se a disposición do equipo é perfecta tamén son factores importantes para se o fluxo de aire se converte nun fenómeno de corrente de eddy.
6. Composición da sala limpa
A composición da sala limpa está composta polos seguintes sistemas (ningún dos cales é indispensable nas moléculas do sistema), se non, non será posible formar unha sala limpa completa e de alta calidade:
(1) Sistema de teito: incluíndo a varilla do teito, o raio I ou o raio en U, a rede do teito ou o marco do teito.
(2) Sistema de aire acondicionado: incluíndo cabina aérea, sistema de filtros, muíño de vento, etc.
(3) Muro parcial: incluíndo fiestras e portas.
(4) Piso: incluíndo chan elevado ou chan anti-estático.
(5) Iluminacións: lámpada plana de purificación LED.
A estrutura principal da sala limpa está xeralmente feita de barras de aceiro ou cemento óseo, pero non importa que tipo de estrutura sexa, debe cumprir as seguintes condicións:
A. Non se producirán fisuras debido a cambios de temperatura e vibracións;
B. Non é fácil producir partículas de po, e é difícil que as partículas se unen;
C. Higroscopicidade baixa;
D. Para manter as condicións de humidade na sala limpa, o illamento térmico debe ser alto;
7. Clasificación por uso
Habitación limpa industrial
O control de partículas inanimadas é o obxecto. Controla principalmente a contaminación das partículas de po de aire ao obxecto de traballo, e o interior xeralmente mantén un estado de presión positiva. É adecuado para a industria de maquinaria de precisión, industria electrónica (semiconductores, circuítos integrados, etc.), industria aeroespacial, industria química de alta pureza, industria de enerxía atómica, industria óptica e de produtos magnéticos (CD, cine, produción de cinta) LCD (cristal líquido de cristal líquido vidro), disco duro de computadora, produción de cabezas de ordenador e outras industrias.
Habitación limpa biolóxica
Controla principalmente a contaminación das partículas vivas (bacterias) e as partículas inanimadas (po) ao obxecto de traballo. Pódese dividir en;
A. Habitación limpa biolóxica xeral: controla principalmente a contaminación de obxectos microbianos (bacterianos). Ao mesmo tempo, os seus materiais internos deben ser capaces de soportar a erosión de varios axentes esterilizadores, e o interior xeralmente garante unha presión positiva. Esencialmente, os materiais internos deben ser capaces de soportar varios tratamentos de esterilización da sala limpa industrial. Exemplos: industria farmacéutica, hospitais (quirófanos, despachos estériles), alimentos, cosméticos, produción de produtos de bebidas, laboratorios animais, laboratorios de probas físicas e químicas, estacións de sangue, etc.
B. Seguridade biolóxica sala limpa: controla principalmente a contaminación das partículas vivas do obxecto de traballo ao mundo exterior e ás persoas. A presión interna debe manterse negativa coa atmosfera. Exemplos: bacterioloxía, bioloxía, laboratorios limpos, enxeñaría física (xenes recombinantes, preparación de vacinas)
Tempo de publicación: FEB-07-2025