Ademais do control estrito das partículas, as salas limpas electrónicas, representadas por talleres de produción de chips, talleres de circuítos integrados sen po e talleres de fabricación de discos, tamén teñen requisitos máis estritos para o control da temperatura e a humidade, a iluminación e os microchoques. Eliminar estritamente o impacto da electricidade estática nos produtos de produción, de xeito que o ambiente poida cumprir os requisitos do proceso de produción dos produtos electrónicos nun ambiente limpo.
A temperatura e a humidade da sala limpa electrónica deben determinarse segundo os requisitos do proceso de produción. Cando non hai requisitos específicos para o proceso de produción, a temperatura pode ser de 20-26 °C e a humidade relativa é de 30%-70%. A temperatura da sala limpa do persoal e da sala de estar pode ser de 16-28 ℃. Segundo a norma nacional chinesa GB-50073, que está en consonancia coas normas ISO internacionais, o nivel de limpeza deste tipo de sala limpa é de 1 a 9. Entre eles, as clases 1-5, o patrón de fluxo de aire é un fluxo unidireccional ou fluxo mixto; o patrón de fluxo de aire da clase 6 é un fluxo non unidireccional e a renovación do aire é de 50-60 veces/h; o tipo de fluxo de aire da clase 7 é un fluxo non unidireccional e a renovación do aire é de 15-25 veces/h; o tipo de fluxo de aire das clases 8-9 é un fluxo non unidireccional, a renovación do aire é de 10-15 veces/h.
Segundo as especificacións actuais, o nivel de ruído dentro dunha sala limpa electrónica de clase 10.000 non debe ser superior a 65 dB(A).
1. A proporción total da sala limpa de fluxo vertical na sala limpa electrónica non debe ser inferior ao 60 % e a sala limpa de fluxo unidireccional horizontal non debe ser inferior ao 40 %, se non, será un fluxo unidireccional parcial.
2. A diferenza de presión estática entre a sala limpa electrónica e o exterior non debe ser inferior a 10 Pa, e a diferenza de presión estática entre as zonas limpas e as zonas non limpas con diferente limpeza do aire non debe ser inferior a 5 Pa.
3. A cantidade de aire fresco nunha sala limpa electrónica de clase 10000 debería ter o valor dos dous seguintes elementos.
4. Compensar a suma do volume de aire de extracción interior e o volume de aire fresco necesarios para manter o valor de presión positiva interior.
5. Asegúrese de que a cantidade de aire fresco subministrado á sala limpa por persoa e hora non sexa inferior a 40 metros cadrados.
Data de publicación: 08-04-2024