As instalacións de protección contra incendios son unha parte importante da sala limpa. A súa importancia non é só porque os seus equipos de proceso e proxectos de construción son caros, senón tamén porque as habitacións limpas son edificios relativamente pechados, e algúns incluso son talleres sen fiestras. As pasaxes da sala limpa son estreitas e tortuosas, dificultando a evacuar ao persoal e ensinar lume. Para garantir a seguridade da vida e das propiedades das persoas, a política de protección contra incendios de "prevención primeiro, a combinación de prevención e incendio" debería implementarse no deseño. Ademais de tomar medidas eficaces de prevención de incendios no deseño da sala limpa, ademais, tamén se establecen instalacións necesarias de loita contra incendios. As características de produción das habitacións limpas son:
(1) Hai moitos equipos e instrumentos de precisión, e utilízanse unha variedade de gases e líquidos inflamables, explosivos, corrosivos e tóxicos. O perigo de incendio dalgunhas partes de produción pertence á categoría C (como a difusión de oxidación, a fotolitografía, a implantación de ións, a impresión e os envases, etc.), e algunhas pertencen á categoría A (como un único cristal, epitaxia, deposición de vapor químico, etc. .).
(2) A sala limpa é moi hermética. Unha vez que se estrea un lume, será difícil evacuar ao persoal e apagar o lume.
(3) O custo de construción da sala limpa é elevado e os equipos e os instrumentos son caros. Unha vez que un incendio estalase, as perdas económicas serán enormes.
Con base nas características anteriores, as habitacións limpas teñen requisitos moi altos para a protección contra incendios. Ademais do sistema de protección contra incendios e abastecemento de auga, tamén se deben instalar dispositivos fixos de extinción de incendios, especialmente os equipos e instrumentos valiosos na habitación limpa deben determinarse coidadosamente.
Tempo de publicación: 1 de abril-2024