As instalacións de protección contra incendios son unha parte importante das salas limpas. A súa importancia non só reside no custo dos equipos de proceso e dos proxectos de construción, senón tamén en que as salas limpas son edificios relativamente pechados e algúns mesmo son talleres sen fiestras. As pasaxes das salas limpas son estreitas e tortuosas, o que dificulta a evacuación do persoal e a formación sobre o lume. Para garantir a seguridade das vidas e os bens das persoas, débese implementar no deseño a política de protección contra incendios de "prevención primeiro, combinando prevención e incendio". Ademais de tomar medidas eficaces de prevención de incendios no deseño da sala limpa, tamén se establecen as instalacións de extinción de incendios necesarias. As características de produción das salas limpas son:
(1) Existen moitos equipos e instrumentos de precisión e utilízase unha variedade de gases e líquidos inflamables, explosivos, corrosivos e tóxicos. O risco de incendio dalgunhas pezas de produción pertence á categoría C (como a difusión por oxidación, a fotolitografía, a implantación de ións, a impresión e o envasado, etc.) e outras pertencen á categoría A (como a extracción de monocristais, a epitaxia, a deposición química de vapor, etc.).
(2) A sala limpa é moi hermética. Unha vez que se produce un incendio, será difícil evacuar o persoal e apagar o lume.
(3) O custo de construción dunha sala limpa é elevado e o equipamento e os instrumentos son caros. Unha vez que se produce un incendio, as perdas económicas serán enormes.
En base ás características anteriores, as salas limpas teñen requisitos moi elevados en canto á protección contra incendios. Ademais do sistema de protección contra incendios e de subministración de auga, tamén se deben instalar dispositivos fixos de extinción de incendios, especialmente os equipos e instrumentos valiosos das salas limpas deben determinarse coidadosamente.
Data de publicación: 11 de abril de 2024