A sala limpa é un edificio especial pechado construído para controlar as partículas no aire no espazo. En xeral, a sala limpa tamén controlará factores ambientais como a temperatura e a humidade, os patróns de movemento do fluxo de aire e a vibración e o ruído. Entón, en que consiste a sala limpa? Axudarémosche a resolver as cinco partes:
1. Compartimento
O compartimento de habitación limpa divídese en tres partes, cambio de espazo, área limpa de clase 1000 e área limpa de clase 100. Cambiar a sala e a clase 1000 limpas están equipadas con duchas de aire. A habitación limpa e a zona exterior están equipadas con ducha de aire. A caixa de pase úsase para os elementos que entran e saen da sala limpa. Cando a xente entra no cuarto limpo, primeiro debe pasar pola ducha de aire para explotar o po transportado polo corpo humano e reducir o po levado ao cuarto limpo por persoal. A caixa de pase sopra o po dos elementos para lograr o efecto da eliminación de po.
2. Gráfico de fluxo de sistema de aire
O sistema usa un novo aire acondicionado + sistema FFU:
(1). Estrutura de caixa de aire acondicionado fresco
(2) Unidade de filtro de ventilador .ffu
O filtro da sala Clean de clase 1000 usa HEPA, cunha eficiencia de filtración do 99,997%, e o filtro na clase 100 Clean Room usa ULPA, cunha eficiencia de filtración do 99,9995%.
3. Gráfico de fluxo do sistema de auga
O sistema de auga divídese en lado primario e secundario.
A temperatura da auga no lado primario é de 7-12 ℃, que se subministra á caixa de aire acondicionado e á unidade de bobina de ventiladores, e a temperatura da auga no lado secundario é de 12-17 ℃, que se subministra ao sistema de bobinas secas. A auga do lado primario e do lado secundario son dous circuítos diferentes, conectados por un intercambiador de calor da placa.
Principio de intercambiador de calor da placa
Bobina seca: unha bobina non condensadora. Dado que a temperatura no taller de purificación é de 22 ℃ e a súa temperatura do punto de orballo é de aproximadamente 12 ℃, 7 ℃ A auga non pode entrar directamente na sala limpa. Polo tanto, a temperatura da auga que entra na bobina seca está entre 12-14 ℃.
4. Sistema de control (DDC) Temperatura: control do sistema de bobinas secas
Humidade: o aire acondicionado regula o volume de entrada de auga da bobina do aire acondicionado controlando a apertura da válvula de tres vías a través do sinal detectado.
Presión positiva: axuste do aire acondicionado, segundo o sinal de detección de presión estática, axusta automaticamente a frecuencia do inversor do motor do aire acondicionado, axustando así a cantidade de aire fresco que entra na sala limpa.
5. Outros sistemas
Non só o sistema de aire acondicionado, o sistema de habitación limpa tamén inclúe baleiro, presión do aire, nitróxeno, auga pura, auga residual, sistema de dióxido de carbono, sistema de escape de proceso e estándares de proba:
(1). Probas de velocidade de fluxo de aire e uniformidade. Esta proba é o requisito previo para outro efecto de proba da sala limpa. O propósito desta proba é aclarar o fluxo de aire medio e a uniformidade da área de traballo de fluxo unidireccional na sala limpa.
(2). Detección de volume de aire do sistema ou sala.
(3). Detección de limpeza interior. A detección de limpeza é determinar o nivel de limpeza do aire que se pode conseguir na sala limpa e pódese usar un contador de partículas para detectalo.
(4). Detección do tempo de auto-limpeza. Ao determinar o tempo de auto-limpeza, pódese comprobar a capacidade de restaurar a limpeza orixinal da sala limpa cando se produce a contaminación dentro da habitación limpa.
(5). Detección de patróns de fluxo de aire.
(6). Detección de ruído.
(7) .Detección da iluminación. O propósito das probas de iluminación é determinar o nivel de iluminación e a uniformidade da iluminación da sala limpa.
(8). Detección de vibracións. O propósito da detección de vibracións é determinar a amplitude de vibración de cada pantalla na sala limpa.
(9). Detección de temperatura e humidade. O propósito da detección de temperatura e humidade é a capacidade de axustar a temperatura e a humidade dentro de determinados límites. O seu contido inclúe detectar a temperatura do aire da subministración da sala limpa, detectar a temperatura do aire nos puntos de medida representativos, detectar a temperatura do aire no punto central da sala limpa, detectar a temperatura do aire en compoñentes sensibles, detectar a temperatura relativa do aire interior e detectar a temperatura do aire de retorno.
(10). Detección do volume total de aire e do volume de aire fresco.
Tempo de publicación: xaneiro-24-2024